株式会社東京衡機試験機
ピエゾ式マイクロ構造疲労試験機 PDF プリント メール

ピエゾ式マイクロ構造疲労試験機 PFT-2
負荷機構、荷重検出にピエゾを採用した微小荷重・微小変位制御の疲労試験機


アクチュエーターにピエゾ素子を利用したマイクロ構造物疲労試験機です。従来は温度サイクル試験にて評価を行なっていた、電子デバイス等の疲労寿命・強度評価を、約1/300~1/3000の短時間で行うことができます。年々促進される電子デバイス等の開発期間短縮化に大きく貢献できるものとして、御提案致します。

マイクロ試験機の分野では最も負荷力の大きい±15,000 N を実現しています。ピエゾ素子を用いることで位置決め制御精度500 nm の信頼の高い試験結果を得る事が可能です。ピエゾ素子の変位量をゼロにすることで荷重計測が可能です。


最大試験力± 2,000 N
最大変位± 50 μm
試験周波数0.1~20 Hz
駆動源アクチュエーターとしてピエゾ素子を用いる
試験種類せん断試験
制御精度 (分解能)50 nm
制御精度 (位置決め制御精度)500 nm
サイズ約 W 620 x D 320 x H 250 mm
重量約 100 kg
試験波形三角波、正弦波、台形波(組み合わせ可能)

 

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